塵埃粒子檢測系統(tǒng)

　　在設置實時粒子計數(shù)系統(tǒng)時，應當考慮 A.4.2 到 A.4.6 中描述的項目。

　　實時粒子計數(shù)系統(tǒng)的配置應當參考以下幾點因素：

　　— 塵埃粒子收集效率

　　— 對于選定粒徑的適應性

　　— 便于維護，校驗和維修

　　注釋 1 這些考量可能會影響是否選擇多個塵埃粒子計數(shù)器還是選擇一個幾個計數(shù)器配有多個取樣管路的系統(tǒng)。

　　注釋 2 對于檢測粒徑大于 5 微米的粒子，選擇多取樣管的單一計數(shù)器系統(tǒng)是不適宜的。

　　取樣氣體流速和體積。

　　每個空氣樣品的頻率和持續(xù)時間(由取樣率決定)

　　取樣探頭的配置和方向應當與空氣流向有關(例如，等速取樣管或非等速取樣管)

　　注釋 在非單向流的環(huán)境中，將取樣探頭直接置于高效空氣過濾器(HEPA)下是不合適的，因為該點不能夠代表潔凈室或潔凈區(qū)的整體水平，并且可能會阻止其探測到污染事件的發(fā)生。

　　取樣系統(tǒng)對工藝或環(huán)境的潛在負面影響(例如在較小的空間內(nèi)，取樣時對其環(huán)境的影響)