1. 單向流動(dòng)潔凈室中的空氣流動(dòng)分析

（1）應(yīng)用周期短. 單向氣流的換氣頻率為300?400次/小時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)一般采用兩種回風(fēng)方式. 空氣處理單元（AHU）與潔凈室之間有一定距離時(shí). 航空運(yùn)輸?shù)哪茉聪姆浅４? 如果可以在潔凈室中循環(huán)使用（短周期），則可以大大降低能耗. 表27.8-1說(shuō)明了兩者之間的區(qū)別.

（2）顯熱盤(pán)管的應(yīng)用. 由于該想法的工業(yè)潔凈室中的負(fù)荷主要是顯熱，即熱濕比為+∞，因此在進(jìn)行新鮮的大規(guī)模除濕后，可以將其與顯熱冷卻盤(pán)管的室內(nèi)空氣混合. 空氣集中處理. 以此方式，為了處理大量的循環(huán)空氣，可以使用具有較高水溫的冷水，而通過(guò)低溫除濕盤(pán)管處理少量的新鮮空氣，這在經(jīng)濟(jì)上是有利的. 表27.8-2中列出的兩種方法用于此處理，即在末尾混合新風(fēng)和回風(fēng)，在顯熱盤(pán)管之前混合新風(fēng)和回風(fēng). 總冷卻負(fù)荷沒(méi)有差別.

2. 潔凈室和空調(diào)的各種組合

（1）空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋b置的組合如表27.8-3所示. 在本地凈化設(shè)備的控制范圍內(nèi)，通?？梢赃_(dá)到5級(jí). 在表中，I表示不帶外殼的局部清潔區(qū)域，II表示帶可移動(dòng)外殼的清潔區(qū)域，III表示操作固定透明外殼的區(qū)域. 可以從原始的非單向流動(dòng)潔凈室轉(zhuǎn)換以上三個(gè)局部潔凈區(qū)域.

（2）非單向流動(dòng)潔凈室和空調(diào)系統(tǒng)的組合如表27.8-4所示. 通常，可以達(dá)到6至8的清潔度. 我是兩次回風(fēng)模式；對(duì)于需要24小時(shí)運(yùn)行的無(wú)塵室，可以通過(guò)變頻控制風(fēng)扇，以適應(yīng)夜間的負(fù)載和正壓. II適用于多個(gè)系統(tǒng)的集中新鮮空氣處理.

（3）單向流動(dòng)潔凈室和空調(diào)的組合如表27.8-5所示. 在表中，我是單風(fēng)扇全風(fēng)量運(yùn)行模式（兩次回風(fēng)）；二是短循環(huán)模式； III / IV是使用空調(diào)單元的無(wú)塵室空調(diào)方法. 表中的方法最適合于小型單人潔凈室. 以下示例介紹了大規(guī)模單向流清洗.

（4）清潔隧道方法，在微電子工業(yè)中，出于經(jīng)濟(jì)考慮，結(jié)合工藝特征，已經(jīng)形成了一種特征性的純化方法，成為清潔隧道. 圖27.8-1顯示了減少潔凈空間和空調(diào)供氣系統(tǒng)的過(guò)程根據(jù)進(jìn)化過(guò)程，這種從模式I引導(dǎo)III的方式可以將集中式機(jī)房的空氣供應(yīng)減少到5％，并將風(fēng)扇功率減少到50 ％. 設(shè)備成本降低了60％.

隨著超大規(guī)模集成電路制造的發(fā)展，過(guò)程自動(dòng)化程度日益提高. 它不一定需要在大型工廠建筑物中進(jìn)行高層凈化，而是創(chuàng)建了一個(gè)與過(guò)程密切相關(guān)的微環(huán)境控制設(shè)備. 該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了高級(jí)凈化環(huán)境.

3. 凈化空調(diào)系統(tǒng)分部

純凈空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)量大于普通空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)量，因此應(yīng)根據(jù)建筑空間等的布局合理劃分，以使風(fēng)道交叉. 截面和傳輸長(zhǎng)度不應(yīng)太大. 此外，還應(yīng)根據(jù)以下原則考慮系統(tǒng)的劃分；

（1）單向流系統(tǒng)應(yīng)與非單向流分開(kāi). 這是由于凈化水平不同而導(dǎo)致的空氣處理和控制方法的差異.

（2）應(yīng)分別設(shè)置三級(jí)過(guò)濾和凈化系統(tǒng)和一般的空調(diào)系統(tǒng)（或兩級(jí)過(guò)濾和凈化系統(tǒng)）.

（3）溫度和濕度精度差異較大的系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置.

（4）具有不同操作班次和操作規(guī)則的系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置.

（5）具有不同新鮮空氣比例的系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置.

（6）產(chǎn)生有毒，有害，易燃和易爆材料的系統(tǒng)應(yīng)與一般系統(tǒng)分開(kāi)設(shè)置.

4. 潔凈室的正壓控制

潔凈室外部的空氣滲透是污染干擾潔凈室清潔度的重要原因之一. 因此，必須給報(bào)紙一定的壓力差. 潔凈室與潔凈度不同的潔凈區(qū)域和非潔凈區(qū)域之間的壓力差應(yīng)大于或等于5pa，潔凈區(qū)域與室外之間的壓力差應(yīng)大于或等于10pa. 相反，該過(guò)程產(chǎn)生大量粉塵. 在有毒，易燃易爆物質(zhì)的加工區(qū)域中，手術(shù)室與其他室之間應(yīng)保持相對(duì)負(fù)壓.

由于凈化空調(diào)系統(tǒng)中過(guò)濾器阻力的變化以及排氣柜的排氣可能在室內(nèi)，因此必須采取相應(yīng)的措施和控制以保持一定的正壓. 殘留壓力閥，回風(fēng)口的阻尼層以及回風(fēng)閥的手動(dòng)或自動(dòng)控制通常用于維持室內(nèi)的正壓. 對(duì)于一般的空調(diào)房間，保持室內(nèi)正壓的流出空氣量與每個(gè)空氣量L滲透之間的關(guān)系為L(zhǎng)滲透（正壓）= L send-L return-L局部排放. 正壓穿透風(fēng)量可以根據(jù)房間結(jié)構(gòu)的密封性能（一定壓差下每米間隙的風(fēng)量）來(lái)確定，一般可以根據(jù)房間通風(fēng)頻率2-6次/ h來(lái)取. 但是，由于無(wú)塵室的嚴(yán)格結(jié)構(gòu)和對(duì)正壓的嚴(yán)格要求，使用殘壓閥或差壓式電動(dòng)風(fēng)門(mén)控制閥更加可靠.

用新鮮空氣量控制新鮮空氣量的原理. 對(duì)于多房間系統(tǒng)，根據(jù)每個(gè)房間的壓力要求，使用微電腦控制.