Vertex50是一款功能強(qiáng)大的液體粒子計(jì)數(shù)器，具有包括納米級在內(nèi)的多個尺寸通道。

Vertex50測量和檢測UPW系統(tǒng)中≥50nm的趨勢

        Vertex50是世界領(lǐng)先的液體粒子計(jì)數(shù)器之一。它可以檢測在超純水系統(tǒng)（UPW）中≥50nm的顆粒，對于50nm的粒子具有準(zhǔn)確的靈敏度。

        超純水是一個常用的術(shù)語，用來強(qiáng)調(diào)水被處理到所有污染物類型的最高純度。這包括有機(jī)化合物和無機(jī)化合物；溶解物和顆粒物；揮發(fā)性和非揮發(fā)性、反應(yīng)性和惰性；親水性和疏水性；以及溶解氣體。超純水系統(tǒng)用于許多行業(yè)，包括制藥和半導(dǎo)體。

Vertex 50資格認(rèn)證設(shè)置和范圍

        Vertex50可以檢測從50納米到200納米的粒子。以微米為單位，Vertex50的四個尺寸通道有如下；0.05μm  0.10μm  0.15μm  0.20μm

      Vertex50的流速為100ml/分鐘，采樣率為5ml/分鐘。Vertex50的誤計(jì)數(shù)率在行業(yè)中最低，每毫升不到0.2次。這一點(diǎn)至關(guān)重要，因?yàn)榈驼`計(jì)數(shù)率是檢測納米范圍內(nèi)顆粒的關(guān)鍵，因?yàn)檎`報(bào)會導(dǎo)致數(shù)據(jù)不可用。很難確定這些計(jì)數(shù)是真實(shí)的還是錯誤的。

        確定計(jì)數(shù)是實(shí)際的真實(shí)計(jì)數(shù)還是錯誤計(jì)數(shù)變得很有挑戰(zhàn)性。液體粒子計(jì)數(shù)器的光電探測器可以將來自宇宙和地球射線的干擾算作錯誤計(jì)數(shù)。因此，消除這種錯誤計(jì)數(shù)干擾可以提高Vertex50數(shù)據(jù)的整體準(zhǔn)確度。

Vertex50校準(zhǔn)驗(yàn)證摘要

        Vertex50的校準(zhǔn)過程貫穿粒子通道的范圍，并驗(yàn)證尺寸精度、計(jì)數(shù)精度、靈敏度、零計(jì)數(shù)和錯誤計(jì)數(shù)驗(yàn)證。校準(zhǔn)過程將可追蹤的參考粒子引入每個通道?？勺粉櫟脑诘谝浑A段引入顆粒尺寸。在第二階段，無顆粒水通過兩個后CLRW過濾階段。在第三階段，可追蹤顆粒被引入第三階段的稀釋系統(tǒng)。然后根據(jù)稀釋比，因此濃度是已知的。每個通道都是單獨(dú)測試的。

Vertex50（被測單元UUT）和參考標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)數(shù)效率范圍為已知。在第4階段，將UUT和參考標(biāo)準(zhǔn)一起進(jìn)行比較。計(jì)數(shù)比率為計(jì)算以驗(yàn)證計(jì)數(shù)準(zhǔn)確性。在UUT上調(diào)整所有通道閾值，直到計(jì)數(shù)在參考值的±5%范圍內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)必須驗(yàn)證零計(jì)數(shù)和暗噪聲，這樣就不會引入錯誤計(jì)數(shù)。

什么是Vertex50校準(zhǔn)驗(yàn)證

Vertex50校準(zhǔn)和驗(yàn)證告訴我們Vertex50可以檢測4個尺寸范圍內(nèi)的粒子：50nm  100nm  150nm  200nm

Vertex50驗(yàn)證還驗(yàn)證了傳感器設(shè)計(jì)并消除了錯誤計(jì)數(shù)先進(jìn)的光電探測器設(shè)計(jì)，暗噪聲也極低。不需要任何用于減去暗噪聲的算法（這種算法實(shí)際上可能引入錯誤計(jì)數(shù)）。因此Vertex50具有高靈敏度。

Vertex50應(yīng)該如何在UPW中使用污染檢測？

        Vertex50專為在線監(jiān)控而設(shè)計(jì)。Vertex50可以連接LMS Express監(jiān)控軟件，以便數(shù)據(jù)趨勢、報(bào)告、自動報(bào)警消息，并發(fā)出通知。如果出現(xiàn)污染，整個系統(tǒng)可以做出快速響應(yīng)事件發(fā)生。

Vertex50可以在UPW系統(tǒng)的多個位置使用監(jiān)控過濾器性能、系統(tǒng)效率，并對任何污染事件。這樣可以確保產(chǎn)品得到加工使用未受污染的UPW，提高產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量。

        當(dāng)連接到LMS Express時(shí)，可以收集數(shù)據(jù)點(diǎn)，并顯示視覺趨勢，以驗(yàn)證UPW的健康狀況系統(tǒng)實(shí)時(shí)運(yùn)行。過濾器更換可以輕松管理，UPW的總體運(yùn)行時(shí)間可以增強(qiáng)系統(tǒng)。

建立UPW實(shí)時(shí)監(jiān)控LMS Express和Vertex50

        Vertex50高靈敏度的主要優(yōu)勢之一是在線監(jiān)測。具有確定了UPW系統(tǒng)沿線的監(jiān)測點(diǎn)，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測水質(zhì)當(dāng)Vertex50采樣點(diǎn)連接到LMS Express監(jiān)控軟件時(shí)。UPW系統(tǒng)可以進(jìn)行主動監(jiān)測，并在水質(zhì)出現(xiàn)問題時(shí)發(fā)出警報(bào)通知變高?？梢詮谋O(jiān)控系統(tǒng)中收集有用的數(shù)據(jù)。

以上數(shù)據(jù)采集于10nm的過濾階段。該趨勢顯示了觀察到的高計(jì)數(shù)的歷史數(shù)據(jù)。經(jīng)過檢查，過濾器需要更換。決定啟動主動過濾器更換計(jì)劃。在計(jì)劃的UPW服務(wù)計(jì)劃中，過濾器將每6個月更換一次。通過使用監(jiān)控系統(tǒng)和回顧數(shù)據(jù)趨勢，制定了計(jì)劃的服務(wù)事件，通過防止計(jì)劃外停機(jī)來提高產(chǎn)品產(chǎn)量